應(yīng)用到石英水晶組件的光刻技術(shù)大約是上個(gè)世紀(jì)60~70年代之間，當(dāng)時(shí)第一個(gè)利用這種工藝的是美國(guó)Statek晶振公司，并且取得不錯(cuò)的成績(jī)。當(dāng)時(shí)精工愛(ài)普生晶振公司董事長(zhǎng)服部一郎，正在為如何生產(chǎn)更小，更高精度，更低成本的設(shè)備而煞費(fèi)苦心，卻始終理不清頭緒。聽(tīng)聞此消息，董事長(zhǎng)服部一郎立刻搭乘飛機(jī)前往美國(guó)，了解到光刻技術(shù)一些資料，回國(guó)后立刻召集相關(guān)技術(shù)人員和管理者，商討研發(fā)光刻技術(shù)和如何運(yùn)用到音叉晶體生產(chǎn)計(jì)劃中去。1970年精工愛(ài)普生公司研發(fā)部門(mén)開(kāi)始極其用心的鉆研，光刻技術(shù)最開(kāi)始是IC最重要的制造工藝，通過(guò)應(yīng)用攝影曝光技術(shù)創(chuàng)造微觀圖案。

在決定把光刻加入到石英晶體生產(chǎn)流程時(shí)，精工愛(ài)普生公司也在擔(dān)心，這項(xiàng)技術(shù)是否真的合適用在32.768K晶振身上，為了研究透徹，內(nèi)部很快成立了一個(gè)部門(mén)，專(zhuān)門(mén)開(kāi)發(fā)應(yīng)用到石英晶體諧振器身上的光刻技術(shù)。實(shí)行了基本的實(shí)驗(yàn)之后，工程發(fā)現(xiàn)這真的非常了不起的決定，因?yàn)槭褂昧斯饪碳夹g(shù)制造晶體之后，比他們?cè)瓉?lái)的機(jī)械速度提升了10倍左右，令他們感到非常的詫異和興奮。

實(shí)驗(yàn)結(jié)果出來(lái)后，所有參與人員無(wú)不認(rèn)為這是一項(xiàng)值得他們繼續(xù)開(kāi)發(fā)，潛力非常的新工藝，但即使這樣，這項(xiàng)還不算成熟的技藝還不能立刻使用。兩年后他們終于在這項(xiàng)技術(shù)上，有了非常大的突破，發(fā)現(xiàn)了一種可專(zhuān)門(mén)運(yùn)用到音叉表晶的新電極結(jié)構(gòu)，光刻技術(shù)的問(wèn)題是CI值太高。但是，只有在可以清除障礙的情況下，才能獲得高流程精度所帶來(lái)的全部?jī)?yōu)勢(shì)。原本阻礙他們的困難一下子被移除了，并且可以為他們的石英晶振產(chǎn)出許多種有友好有益的波紋效應(yīng)，能在引線端子上完成氣密密封，這樣一來(lái)可以使晶體的尺寸做到更小，同時(shí)還能降低成本預(yù)算。

1975年已經(jīng)投入到C-002RX晶振的生產(chǎn)當(dāng)中，這是全球第一款使用光刻技術(shù)量產(chǎn)的圓柱晶振，尺寸是2.0*6.0mm，可以說(shuō)是舉世矚目的成功。這樣令業(yè)界震撼之后，另一個(gè)難題也悄然而至。這項(xiàng)技術(shù)雖然使精工愛(ài)普生公司的產(chǎn)量大增，成本也大幅度下降，但是生產(chǎn)出來(lái)的晶體質(zhì)量太差，每10顆晶體幾乎會(huì)有9個(gè)有問(wèn)題，每月至少要量產(chǎn)50000顆，才能保障市場(chǎng)需求。

為此，研發(fā)部門(mén)和生產(chǎn)部門(mén)忙碌的應(yīng)對(duì)和去找原因，漸漸的開(kāi)始懷疑當(dāng)初采用光刻技術(shù)的決定是否錯(cuò)誤，是不是應(yīng)該用來(lái)以前機(jī)械加工，各大部門(mén)都承受著不小的壓力。不得以又重新組建團(tuán)隊(duì)，為找出問(wèn)題所在，以及提高晶振質(zhì)量和產(chǎn)量的方法，成立團(tuán)隊(duì)后，第一件事就是找到產(chǎn)量降低的原因。經(jīng)小組研究過(guò)后，發(fā)現(xiàn)有缺陷的產(chǎn)品有許多針孔，是因?yàn)槭⒉牧显诳涛g過(guò)程中產(chǎn)生的，嘗試通過(guò)蝕刻去除石英晶片的整個(gè)表面層，然后在頂部形成膜。有效！沒(méi)有形成單個(gè)針孔！此前，該過(guò)程涉及在粗糙表面層的頂部形成膜，并且這導(dǎo)致了許多針孔。

1976年經(jīng)過(guò)多重波折的C-002RX晶振終于開(kāi)始銷(xiāo)售，EPSON晶振是一家不畏艱難，不不懼怕挑戰(zhàn)的世界一流晶體制造商，幾十年來(lái)遇到的問(wèn)題均迎刃而解。一直關(guān)注著世界科技的發(fā)展，時(shí)刻為研發(fā)適用新產(chǎn)品的貼片晶振，插件晶振而準(zhǔn)備著，直到今天，仍保持著全球晶振NO.1的地位，走在業(yè)界的前端。

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